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緊湊型主動隔振平臺

發(fā)布日期: 2025-04-08
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緊湊型主動隔振平臺STACIS,與標準STACIS安靜島類似,該緊湊型可為通常重量超過1134 kg(2500磅)的大型儀器提供優(yōu)質(zhì)的亞赫茲主動地板振動消除。
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緊湊型主動隔振平臺

與標準STACIS安靜島類似,該緊湊型可為通常重量超過1134 kg(2500磅)的大型儀器提供優(yōu)質(zhì)的亞赫茲主動地板振動消除。

主動隔振平臺STACIS Compact Quiet Island(圖1)

標準安靜島要求活動地板或坑的深度至少為380 mm(15 in.),而緊湊安靜島采用STACIS IIIc低剖面隔離器和定制口袋平臺,以匹配低至200 mm(7.86 in.)的活動地板高度。

下圖顯示了標準和緊湊型安靜島高度之間的高度比較。

主動隔振平臺STACIS Compact Quiet Island(圖2)

緊湊型主動隔振平臺

由于安裝在Quiet Island®平臺上的設(shè)備的復雜性、敏感性和價值,我們不保留訂購的標準目錄號。我們認為每個安裝都是定制的工程解決方案。建議的訂購程序如下:

告訴我們您要隔離的設(shè)備或儀器。由于我們的安裝基礎(chǔ),我們很可能已經(jīng)根據(jù)您的應(yīng)用程序要求設(shè)計了平臺設(shè)計。此外,我們與步進器、對準器、SEM和其他工具制造商保持密切聯(lián)系,以了解尺寸、形狀、重量變化和地板振動規(guī)格。

向我們提供地板振動數(shù)據(jù)或與我們討論如何安排測量這些數(shù)據(jù)。

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